БГТУ / Кафедра "Химии, технологии электрохимических производств и материалов электронной техники" / Целью выполнения курсовой работы является поиск совершенствования технологии изделия КТ8304 на этапе эпитаксиального наращивания слоя кремния. Разработана технологическая схема процесса эпитаксиального наращивания, выполнены технологические, материальные и тепловые расчеты, необходимые для обеспечения выпуска 500 пластин в год. Так же рассмотрен раздел контроля качества и метрологического обеспечения. Рассмотрены вопросы окружающей среды в производстве эпитаксиального наращивания слоя кремния на изделие КТ8304. / Состав: 1 лист чертеж (аппаратурно–технологическая схема) + ПЗ (47 страниц)

БГУТ / Специализация "Химическая технология квантовой и твердотельной электроники" / Целью данного курсового проекта является усовершенствование технологического процесса производства пластин монокристаллического кремния на на этапах химико-механической обработки. / Состав: 1 лист чертеж (установка травления) + ПЗ.