Вакуумные системы и установки с разработкой вакуумной камеры

В ходе выполнении курсового проекта по проектировочному расчету для разработки новых вакуумных машин и установок, согласно техническому заданию, были выбраны: откачное оборудование, коммутирующая арматура, а также определены размеры соединительных трубопроводов, удовлетворяющим всех поставленным целям и с учетом дополнительных условий. При выборе предпочтительного оборудования были учтены особенности откачного объекта (размер камеры), технологического процесса (большое газовыделение и натекание) и обеспечение необходимого давления. Так же была произведена компоновка установки и откачных средств. По компоновочному чертежу были определены необходимые длины трубопроводов. Установка, которая была спроектирована соответствует всем необходимым условиям и нормам ЕСКД и обеспечивает необходимое давление при технологическом процессе. Приборы для измерения давления газа ниже атмосферного называются вакуумметрами. Большинство вакуумметров состоит из двух элементов: манометрического преобразователя сигнала давления в электрический сигнал и измерительного блока. По принципу действия вакуумметры можно свести в следующие классы: 1) жидкостные вакуумметры, непосредственно измеряющие давление (U-образные вакуумметры и их модификации); 2) компрессионные вакуумметры, действие которых основано на законе изотермического сжатия идеального газа (вакуумметры Мак-Лсода); 3) деформационные вакуумметры, использующие в качестве чувствительного элемента сильфон, мембрану и т. п.; 4) тепловые вакуумметры, использующие зависимость теплопроводности газа от давления; эти приборы подразделяются на термопарные и вакуумметры сопротивления; 5) ионизационные вакуумметры, в которых используется ионизация газа; большая группа приборов этого класса подразделяется в свою очередь на: • электронные ионизационные, ионизация газа в которых осуществляется потоком электронов, эмитируемых термокатодом; • электроразрядные, в которых ток разряда возникает при низких давлениях под действием электрического и магнитного полей; • радиоизотопные, ионизация газа в которых осуществляется потоком α-частиц, образующихся при радиоактивном распаде.